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鎢靶材主要應用于哪些領域?

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鎢靶材主要應用于哪些領域?

發布日期:2020-08-29 作者: 點擊:

鎢靶材主要應用于哪些領域?

鎢靶材經常作為物理氣相沉積用濺射靶材,在半導體領域用于制作柵電極、連接布線、擴散阻擋層等。鎢靶材主要應用于航天、稀土冶煉、電光源、化工設備、醫療器械、冶金機械、熔煉設備、石油、等領域。

其中,純鎢靶材主要用作金屬層間的通孔和垂直接觸的接觸孔的填充物,即鎢塞。而鎢合金靶材,如WSi2,主要用在柵極多晶硅的上部作為多晶硅硅化物結構和局部互聯線。隨著半導體芯片尺寸越來越小,銅互連尺寸的縮小導致納米尺度上電阻率的增加,這已成為制約半導體工業發展的一個技術瓶頸。有研究表明,難熔金屬鎢有望取代銅成為下一代的半導體布線金屬材料。

鎢靶材的特點:

噴涂、燒結后的鎢靶,具有99%的密度甚至更高、平均透明紋理的直徑為100um甚至更小、含氧20ppm或更少,偏轉角力為500Mpa左右的特性;提高未加工金屬粉末的生產,提高燒結的能力,可以使鎢靶的成本穩定在一個低價位。燒結后的鎢靶密度高,具有傳統的壓制燒結方法所無法達到的高水準的透明框架,并且明顯改善了偏轉角力,以致顆粒物顯著的減少。

鎢靶材的物理性質:

元素符號: W

原子序數: 74

鎢有兩種變型,α和β。在標準溫度和常壓下,α型是穩定的體心立方結構。β型鎢只有在有氧存在的條件下才能出現。它在630以下是穩定的,在630以上又轉化為α鎢,并且這一過程是不可逆的。

純度:鎢99.95%以上

密度:19.35g/cm3

表面狀態:磨光或堿洗


本文網址:http://www.sammybrandeis.com/news/522.html

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